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Clarity EBSD 分析系统

Clarity™是世界上首台采用直接检测(DD)技术的电子背散射衍射(EBSD)专用探测器。这个革命性的方式提供了无与伦比的花样质量和灵敏度,为EBSD花样探测和分析的发展打开了新的大门。

Clarity™ EDS分析系统
Clarity采集的增材制造不锈钢样品的EBSD取向分布图,显示了平均的形变结构。
Clarity采集的增材制造不锈钢样品的EBSD取向分布图,显示了平均的形变结构。

现有的基于磷屏的EBSD系统有一些不足。具体来说,磷屏材料的粒径和薄膜厚度会降低电子-光子的转换率,以及导致局部的信号出现光晕现象。因此,将磷屏和图像传感器关联起来的光会在EBSD花样上形成假象。对于基于霍夫变换的标定,这种小的瑕疵可能并不至关重要。但是对于高级的定量分析它会抑制EBSD花样中的细节。直接检测从EBSD采集链中去掉了所有的这些步骤因而不会有它们所对应的问题。

Clarity不需要磷屏或者光传递系统。这种技术将CMOS探测器和硅传感器耦合。入射电子撞击硅片后会产生无数电子-空穴对,同时偏压将电荷移到下面的CMOS探测器来记录每次电子入射事件。这种方式非常的灵敏,可以探检测单个的电子。

加上零读出噪声,Clarity为EBSD花样采集提供了前所未有的表现。它能成功的检测和分析每个像素点少于十个电子的花样。但是即使是这个数据仍然有一点点误导,因为EBSD探测器上的电子信号是不均一的,只有花样中部的像素点有最高的电子强度。接近边缘区域的像素点可能只包含有几个电子但是仍然能产生可用的花样。

特点和优势

电子束流敏感材料的分析
  • 零读出噪声的单个电子灵敏度。
  • 分析通常束流下不能产生有用的EBSD花样的材料,比如钙钛矿太阳能电池。
  • 不需要镀导电膜或者低真空SEM模式就能评估通常束流下会产生荷电效应的陶瓷之类的非导电材料。
  • 在低束流下获得高质量EBSD花样和面分布图以探究晶界、粒径和晶体取向的影响。
通过Clarity采集的高质量EBSD花样 a)硅、b)橄榄石和c)石英
通过Clarity采集的高质量EBSD花样 a)硅、b)橄榄石和c)石英
传统材料
  • 使用高动态范围成像保证优秀的EBSD花样质量。
  • 具有不使用磷屏或光学镜头采集极度锐利EBSD花样的能力
Hikari Super和Clarity探测器沿着(113)条带的强度分布比较,可以看到直接检测改善了衬度和锐度。
Hikari Super和Clarity探测器沿着(113)条带的强度分布比较,可以看到直接检测改善了衬度和锐度。
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