XLNCE SMX-ILH

XLNCE SMX-ILH XRF 系统是一个过程控制和产量管理平台,提供集成和远程模块配置,用于涂层组分的在线大气分析以及刚性与柔性基板的厚度测量。此系统允许涂层材料通过测量壳体移动,以此利用电动、可编程的单或双集成测量模块,在静态或梯度位置进行全面板分析。
XLNCE SMX-ILH XRF Analyzer

XLNCE SMX-ILH 的专利型绝热板可捕捉高达 300™C 的热基板的实时 XRF 数据,减少面板驻留时间,并提高工艺产量。专门的 Z 轴高度调节功能通过适应翘曲以及较大面板常见的平面度偏差(特别是在较高温度下),进一步提升了测量质量。

  • 成分和厚度分析
  • 材料选择、层配方
  • 在线和离线过程控制
  • 良率管理

专业应用领域:
  • 金属膜系组分,如 CIGS
  • 光伏制造过程
  • 微电子制造
  • 耐腐蚀涂层
  • 热障涂层
  • 能量(CIGS、CIS、电池)
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