性能优点
- EDS，EBSD 和 WDS 模式全集成
- 为集成系统带来易用软件界面
- 实现 EDS-EBSD 和 EDS-WDS 数据的同时采集
- 为 EDS-WDS 研究提供先进定量算法
- 简化 EDS-WDS 数据批量采集流程
- 全自动化 WDS 数据采集
WDS 功能无缝植入到 EDS 图形用户界面中。使用户能够在遇到 EDS 表征极限的情况下快速调整至新的功能进行 WDS 表征。WDS 光 谱、线扫描或者面分布数据可与 EDS 数据同时采集。并能够将 WDS 和 EDS 谱线并列显示或重叠显示带来更直观的数据可视化和解读（图1）。线扫描或面分布浏览窗口能够将 WDS 和 EDS 数据一同显示或者互不重叠的分开单独显示（图2）。
图1. EDS-WDS 光谱的同时采集。
图2. EDS-WDS 面分布同时采集。
通过自动化特性，以及对于进阶用户设置的控制权限开放，APEX 3.0 带来了更高的易用性。从开始到结束只需一键点击，Auto EDS 能实现自动化的 WDS 扫描元素列表建立，谱仪设置，最优样品高度确定，以及光谱采集。Auto Z 流程自动精确调整扫描电镜（SEM）
的样品台位置使其达到光学焦平面以达到最大信号强度水平（图3）。进阶用户亦可通过强度计选项手动调整 SEM 样品台高度。
图3. WDS Auto Z 以及强度计选项。
多组 EDS-WDS 光谱、线扫描和面分布数据在不同样平台高度的组合采集可通过自动化批处理采集流程实现 SEM 实验简化。EDS 和 WDS 数据采集参数设置通过用户友好的批量扫描列表进行管理（图4）。
先进的 EDS-WDS 定量算法支持独立的或组合的 EDS-WDS 标准。每个元素都带有选项的定量列表使得用户能够通过点击任意元素前的图标来轻松对每个元素在 EDS 和 WDS 标准之间进行切换（图5）。
图4. 组合 EDS-WDS 批处理列表。
WDS 结果通过 APEX 报告生成经由标准的微软 Office 软件包文件和 Adobe PDF 格式进行组织和高效通讯。可通过快速报告功能对报告内容和布局依据具体的分析需求进行调整。客制化的分析模板可供高阶和交互式报告使用。
EBSD 端的主要新增功能包括对 Velocity™ Ultra 的支持，是目前 EDAX 最快的 EBSD 相机，为真实的材料体系带来高速 EBSD 面分布采集以及优越的标定表现。
对于 EDS-EBSD 或 EDS-WDS 数据的同时采集，您不需牺牲任一表征技术的表现性能。APEX 3.0 可让您为集成系统的 EDS 探头设置中间位置来保障优化的计数率或速度（图6）。
图5. 组合 EDS-WDS 标准的定量结果。
随着 WDS 功能的加入，APEX 3.0 现在包含了 EDS、EBSD 和 WDS三者。每个表征技术可单独使用，发挥 EDAX 的技术优势，或通过集成采集，带来以往无法实现的表征方案。
- Neptune (EDS-WDS)
- Pegasus (EDS-EBSD)
- Trident (EDS-EBSD-WDS)
图6. EDS 滑轨高级控制。