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Clarity EBSD探测器系列

EDAX首次推出的商用电子背散射衍射 (EBSD) 检测器,具有极高灵敏度,探测电压能可至 3 kV 。 这种直接检测系统非常适合使用传统 EBSD 系统难以分析的电子束敏感钙钛矿、陶瓷或半导体材料。

Clarity™ EDS分析系统

 

该系列利用单电子检测提供高保真 EBSD 花样质量和极高的灵敏度,能极大推动您的研究向前发展。

  • Clarity Plus – 有效采集电压低至~ 7 kV
  • Clarity Super – 有效采集电压低至~ 3 kV

Clarity 采用突破性的混合像素直接检测技术,具有单电子检测灵敏度。 入射电子在撞击硅层时产生几个电子-空穴对,偏压使电荷移动至下方的 CMOS 检测器,在那里计算每个计数。 该方法非常灵敏,可以检测到使用磷屏及光路传输系统的传统 EBSD 检测器测不到的单电子轰击。

束流敏感的MAPI杂化钙钛矿材料的EBSD图像质量图及IPF取向叠加图,采集电压10 kV, 束流150 pA
束流敏感的MAPI杂化钙钛矿材料的EBSD图像质量图及IPF取向叠加图,采集电压10 kV, 束流150 pA

再加上零读取噪声,Clarity 提供了极高的灵敏度和图像质量,可以成功地检测和分析由少于 10 个电子/像素组成的花样。 这使得 Clarity 成为电子束敏感样品和低剂量应用(如混合有机-无机钙钛矿太阳能电池和陶瓷)的理想选择。 此外,Clarity Super 针对较低 kV 采集进行了优化,以提高细晶材料的空间分辨率。

Clarity与传统磷屏探测器的灵敏度比较
Clarity与传统磷屏探测器的灵敏度比较

特点与优点

束流敏感材料分析
  • 通过使用低束流和低电压来防止损伤,揭示以往测不到的微观结构
  • 无需采用导电镀层或低真空 SEM 设置来测试在典型束流下放电的陶瓷等非导电材料
  • 在低束流下获得高质量的EBSD花样及面分布,可检测晶界,晶粒尺寸及晶粒取向等
在 7 kV 和 200 pA 电子束剂量下采集的低温锻造纳米孪晶钛的 EBSD 图像质量和 IPF 取向图,提高了空间分辨率。
在 7 kV 和 200 pA 电子束剂量下采集的低温锻造纳米孪晶钛的 EBSD 图像质量和 IPF 取向图,提高了空间分辨率。
传统材料
  • 使用高动态范围成像以确保出色的 EBSD 花样质量
  • 无需使用磷屏及光路系统即可采集极其清晰的EBSD花样
  • 在较低加速电压下采集以提高空间分辨率
结论

Clarity EBSD 探测器系列为 EBSD 花样采集和标定提供了极高的灵敏度和花样质量。 它可以分析束流敏感材料,并能提供有关极大束能量范围内的电子强度的计数信息。

使用 Clarity 从 a) 硅、b) 橄榄石和 c) 石英收集的高质量 EBSD 花样。
使用 Clarity 从 a) 硅、b) 橄榄石和 c) 石英收集的高质量 EBSD 花样。

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