图 1. (首行)（左） 机械研磨后的多相铝合金的二次电子图像（倾斜样品）。一些相的抛光效果不理想，高出了表面。（中）EBSD图像质量（IQ）分布图显示不能从突出的晶粒（黑色区域）得到衍射花样。上面的两个晶粒呈现出的错综复杂的亚结构是机械研磨造成的假象。这种亚结构同样在反极图（IPF）中很明显（右）。（第二行）（左）离子抛光后的二次电子图像（倾斜样品）。大部分的表面起伏不平被消除，所有的晶粒都能产生可标定的EBSD花样。IQ和IPF分布图呈现了消除了亚结构假象后的真实晶粒结构 （中，右）。
EDAX和Gatan的联合实验概要展示了宽幅离子束抛光是怎样保证清洁无损的样品表面的。它保证了对于有不同研磨阻力的各种相，电子衍射信号都能得到优化。
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